वैक्यूम कार्बराइजिंग वर्कपीस को वैक्यूम में गर्म करना है।जब यह महत्वपूर्ण बिंदु से ऊपर के तापमान तक पहुंच जाता है, तो यह कुछ समय तक रहेगा, ऑक्साइड फिल्म को हटा देगा और हटा देगा, और फिर कार्बराइजिंग और प्रसार के लिए शुद्ध कार्बराइजिंग गैस में गुजरेगा।वैक्यूम कार्बराइजिंग का कार्बराइजिंग तापमान 1030 ℃ तक अधिक होता है, और कार्बराइजिंग की गति तेज होती है।कार्बोराइज्ड भागों की सतह गतिविधि में गिरावट और डीऑक्सीडाइजिंग द्वारा सुधार किया जाता है।बाद की प्रसार गति बहुत अधिक है।आवश्यक सतह एकाग्रता और गहराई तक पहुंचने तक कार्बराइजिंग और प्रसार बार-बार और वैकल्पिक रूप से किया जाता है।
वैक्यूम कार्बराइजिंग गहराई और सतह की एकाग्रता को नियंत्रित किया जा सकता है;यह धातु के हिस्सों की सतह परत के धातुकर्म गुणों को बदल सकता है, और इसकी प्रभावी कार्बराइजिंग गहराई अन्य तरीकों की वास्तविक कार्बराइजिंग गहराई से अधिक गहरी है।